Metrología 3D FinFET (LEXES)

3D FinFET metrology with EX-300 LEXES Shallow Probe
Basándose en la técnica de espectrometría de emisión de rayos X inducida por electrones de baja energía (LEXES) desarrollada por CAMECA en los últimos 15 años, la sonda poco profunda EX-300 es una herramienta de metrología versátil capaz de soportar la innovación en el nodo de 14 nm y más, y el candidato más apropiado para caracterizar los nuevos dispositivos de estructura en 3D como el P/As en n-FET y Ge/B en p-FET. Soporta a los ingenieros de metrología en sus decisiones críticas y garantiza la integración de nuevos procesos N14/N10/N7 y el consecuente monitoreo de producción de volumen.

Una técnica en línea no destructiva que permite el monitoreo real del dispositivo

Al combinar un pequeño haz de electrones no destructivo vertical (hasta 20 µm), sin efectos por la geometría de la estructura y una interfaz totalmente automatizada, LEXES puede realizar mediciones directamente en almohadillas OCD (SCD) y monitorear en línea discos de producto.

A diferencia de otras técnicas de metrología de rayos X como XRD, XRR o XRF que requieren estructuras planares con dimensiones más grandes para permitir el envío de los datos adecuados, LEXES es capaz de medir directamente la dosificación en el 3D FinFET sin mayor procesamiento de datos. Esta avanzada herramienta de metrología puede controlar variaciones de una almohadilla 3D a otra almohadilla 3D (optimización de producción) así como también de disco a disco (control en línea).

Adicionalmente, CAMECA ha optimizado la sonda superficial EX-300 para lograr una excelente precisión para la detección de elementos ligeros, particularmente para B (p-FET) donde XRF y XPS son casi ciegos, así como también para niveles bajos de dosificación de P (n-FET) donde XRD no es sensible. Al ajustar con precisión la energía de la sonda, el EX-300 basado en LEXES es capaz exclusivamente de detectar variaciones de composición, sin contacto, de la parte superior a la inferior de las aletas.

Con su capacidad de realizar mediciones en almohadillas 3D, el EX-300 proporciona un valor agregado sustancia a la metrología de composición debido a la relación entre la almohadilla planar y la estructura 3D no es contundente debido a los grandes efectos de la carga.

Metrología sólida de extremo delantero para garantizar una alta producción en los nuevos y en los próximos nodos de proceso

La sonda superficial es una herramienta totalmente automatizada en conformidad con la fábrica capaz de asegurar el monitoreo continuo de los parámetros críticos elegidos en estructuras planares o 3D. Ajustará todas las recetas a las múltiples elecciones de diseño de producto. Al combinar la flexibilidad con la solidez, la sonda superficial proporciona a los ingenieros de proceso y metrología con información esencial necesaria para detectar fácilmente adulterantes y afrontar los problemas de composición química en el extremo delantero.
Actualmente, la sonda superficial es el socio de metrología más sólida para el desarrollo de la tecnología FinFET, marcando claramente el monitoreo de productos de los dispositivos 3D de la próxima generación.