Análisis de área pequeña en estructuras de alambre Sn-Cu (SIMS)

Small area analysis in Sn Cu wire structure with SIMS
El IMS 7f-Auto de CAMECA proporciona una resolución lateral alta (submicrones), que es de gran interés para el análisis de materiales. Su sorprendente capacidad de imagen se aplica en estudios de una amplia variedad de materiales: fenómeno de difusión en muestras policristalinas, análisis de imagen de superficie en aleaciones...

Para la imagen de hierro, están disponibles dos modos de operación:
  • El modo de imagen de hierro directa (“Microscopio”) adquiere imágenes de hasta mil veces más rápido que con una microsonda de hierro de barrido (todos los píxeles son adquiridos en paralelo). Optimizado para un mapa de área “grande”.
  • El modo de imagen de hierro de barrido (“Microsonda”) para la resolución sub-µm lateral con O2+ y Cs+ haz. Dedicado a un análisis de área pequeña.   

Análisis de área pequeña: información lateral y a profundidad.
Análisis de área pequeña en una estructura de alambre de Sn/Cu: las imágenes del lado izquierdo fueron adquiridas para diferentes especies usando el modo de microsonda.
Con el software WinImage de CAMECA, es posible obtener un perfil de profundidad retrospectivo: en el ejemplo anterior, se obtuvo un perfil de profundidad (lado derecho) de las imágenes de hierro (área central, lado izquierdo) que se registraron secuencialmente mientras se realizaba la pulverización catódica a profundidad. Tenga presente el rango dinámico alto en el modo de imagen.