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AKONIS

SIMS completamente automatizados para la medición de la composición en la fabricación de semiconductores

La herramienta AKONIS SIMS llena un vacío crítico en los procesos de fabricación de semiconductores al proporcionar una detección de alto rendimiento y alta precisión para perfiles de implantes, análisis de composición y datos de interfaz directamente en la línea de fabricación de semiconductores. AKONIS ofrece un nivel muy alto de automatización para garantizar la repetibilidad entre las herramientas para el control de procesos a nivel de fabricación y la compatibilidad de herramienta a herramienta.
  • AKONIS: SIMS Excelencia en la fabricación. +


    Complementando el IMS Wf/SC Ultra, así como el SIMS 4550 (SIMS cuádruple) utilizado para apoyar a la industria de semiconductores a través de laboratorios de caracterización, AKONIS, con automatización completa de la configuración de instrumentos y las rutinas de adquisición, permite un análisis rápido dentro de la fábrica sin comprometer la sensibilidad analítica. AKONIS se beneficia del desarrollo reciente de la tecnología de columna iónica de energía de impacto EXtremadamente baja (EXLIE) (<150 eV), junto con un sistema completo de gestión de discos que incluye una etapa de alta resolución para tomar mediciones en almohadillas de hasta 20 μm.

    El capacitador de alto rendimiento en N5 y más allá

    Composición de alta resolución y perfil rápido de profundidad dopante de pilas multicapa SiGe y SiP
    Inigualable en los límites de detección de almohadillas de hasta 20 μm
    Más del 97 % de reducción de tiempo para retroalimentar datos a la línea de proceso
    Medición completa de disco estampado y de plantilla
    Motor de reconocimiento de patrones junto con una etapa interferométrica de alta resolución para una precisión de posición <2 μm
    Creación intuitiva de recetas basada en una base de datos de materiales única
    Certificación SEMI (S2/S8, E4, E5, E39, E84...)
    Bajo costo de propiedad

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